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產(chǎn)品分類(lèi)
Product CategoryFilmetrics 3D光學(xué)輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率, Profilm3D同樣使用了現(xiàn)今高分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。