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EVG540-晶圓鍵合自動化系統(tǒng)

簡要描述:EVG540-晶圓鍵合自動化系統(tǒng) 應(yīng)用:全自動晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)),適用于大300 mm的基板

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔
  • 更新時間:2024-03-19
  • 訪  問  量: 4873

詳細(xì)介紹

EVG540-晶圓鍵合自動化系統(tǒng)

應(yīng)用:全自動晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)),適用于大300 mm的基板

一、簡介

      EVG540自動化晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī))是一種自動化的單腔室生產(chǎn)鍵合機(jī),設(shè)計用于中試線生產(chǎn)以及用于晶圓級封裝,3D互連和MEMS應(yīng)用的大批量生產(chǎn)的研發(fā)。EVG540基于模塊化設(shè)計,為我們未來的晶圓鍵合工藝從研發(fā)到大規(guī)模生產(chǎn)的全集成生產(chǎn)鍵合系統(tǒng)過渡提供了可靠的解決方案。

EVG540-晶圓鍵合自動化系統(tǒng)

二、特征

單室鍵合機(jī)(晶圓鍵合機(jī)),大基板尺寸為300 mm
與兼容的SmartView 和MBA300
自動處理多達(dá)四個鍵合卡盤
符合高安全標(biāo)準(zhǔn)
三、技術(shù)數(shù)據(jù)
(晶圓鍵合機(jī))大加熱器尺寸300毫米
裝載室使用2軸機(jī)器人
高 鍵合室2個


 

 

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