電鏡隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統(tǒng)，有利于為基礎研究、應用研究、生產等領域所用精密儀器創(chuàng)造穩(wěn)定的測量環(huán)境。本產品可在寬頻率范圍內進行隔振，為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設備等提供優(yōu)異的隔振性能。
工作原理：
安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響，有效的解決方案則是使用隔振臺，以便營造適合該設備的條件。
電鏡隔振臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監(jiān)測振動，并基于該信息，執(zhí)行器沿相反方向產生作用力，并繼續(xù)產生最佳的振動隔離狀態(tài)。隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。
電鏡隔振臺采用先進的隔振技術，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。本產品平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路來消除隔振系統(tǒng)的機械共振?？蔀閷嶒炇抑袑φ饎用舾械脑O備如電鏡，光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩(wěn)定的測試環(huán)境。 
應用范圍：
1、超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）；
2、光刻工具；
3、高精度計量工具；
4、光譜儀器。
電鏡隔振臺的性能優(yōu)勢：
1、5-20ms響應時間；
2、無低頻共振、無空氣要求；
3、低頻隔振性能優(yōu)異，安裝和使用簡單；
4、系統(tǒng)主動檢測輸入振動并動態(tài)消除；
5、緊湊、模塊化的多功能設計；
6、穩(wěn)定性高，能*連續(xù)使用多年；
7、六個空間方向自由隔振（0.5Hz-200Hz主動隔振，>200Hz被動隔振）。
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